微振测量仪

微振测量仪面向超精密制造、半导体、光学与科研等对振动极为敏感的场景，专注低频、高分辨率、长时稳定的微振测量。产品以精密感知与低噪声设计为核心，可捕捉设备与环境中的微弱振动信号，为工艺窗口评估、设备状态优化和故障早期识别提供可靠数据支撑。 适用于精密机床、光刻与检测设备、光学平台及实验室环境的振动监测。通过低频段高分辨率测量与长时间稳定观测，帮助识别振源特征、评估隔振效果，并辅助制定减振与工艺改进方案。